柔性鈣鈦礦電池作為一種新型的太陽能電池技術，具有高效、輕薄、可彎曲等優(yōu)點，近年來在光伏領域備受關注。卷繞鍍膜機作為柔性鈣鈦礦電池生產(chǎn)中的關鍵設備，通過精密的鍍膜工藝，可以在PET或PP柔性基材上鍍制ITO等非金屬膜和多種金屬膜，從而提升電池的性能和穩(wěn)定性。



基本結構

卷繞鍍膜機主要由放卷室 收卷室和真空鍍膜室三大部分組成。這三個室內(nèi)均設有基材傳送輥組，以實現(xiàn)柔性基材的放卷、收卷和鍍膜過程中的同步移動。

卷繞室：負責柔性基材的初始放卷和鍍膜完成后的收卷。通過精確的基材傳送輥組，可以確保基材在鍍膜過程中保持平整和穩(wěn)定。

真空鍍膜室：是鍍膜工藝的核心部分。室內(nèi)設有主卷輥和磁控靶，主卷輥用于卷繞掩膜與柔性基材，磁控靶則用于對柔性基材進行鍍膜。

鍍膜工藝

常見的鍍膜工藝包括非金屬膜（如ITO）和金屬膜的鍍制。以下是對這兩種鍍膜工藝的詳細介紹：
非金屬膜（ITO）鍍制：

襯底預處理：首先，對PET或PP柔性基材進行預處理，去除表面的污垢，以保證鍍膜質(zhì)量。預處理過程通常包括洗滌劑清洗、超聲波清洗和氮氣吹干等步驟。

濺射前的準備：將清洗好的基材置于真空環(huán)境中，真空度一般控制在5×10^-4Pa左右。

預濺射：充入高純的氬氣，調(diào)節(jié)氣壓穩(wěn)定在實驗所需的工作氣壓（如1.1Pa），然后進行預濺射，時間通常為30分鐘。

濺射鍍膜：完成預濺射后，對基材進行低溫濺射鍍膜。在鍍膜過程中同時對基材進行冷卻。ITO、SiO2薄膜具有良好的光學透過率和電導或絕緣特性，作為光電器件的透明導電層具有廣泛的科研和實用價值。

金屬膜鍍制：

金屬膜的鍍制過程與非金屬膜類似，但使用的靶材和鍍膜參數(shù)有所不同。常見的金屬膜包括金、銀、銅、石墨等，這些金屬具有良好的導電性能和耐腐蝕性。

在鍍膜過程中，通過精確控制鍍膜時間和鍍膜厚度，可以在柔性基材上形成均勻、致密的金屬膜層。