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卷繞鍍膜設(shè)備
機(jī)型：XH-RS系列

卷繞鍍膜設(shè)備......
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光學(xué)鍍膜機(jī)
機(jī)型：XHEB系列

精密光學(xué)電子槍蒸鍍系統(tǒng)專門為精密光學(xué)薄膜器件鍍膜而設(shè)計(jì)，各系統(tǒng)設(shè)計(jì)和整體結(jié)構(gòu)滿足光學(xué)薄膜生產(chǎn)工藝要求
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連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線
機(jī)型：XHSL系列

連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線......
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單腔室濺射設(shè)備
機(jī)型：XHCS系列

單腔室濺射設(shè)備....
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多腔室濺射設(shè)備
機(jī)型：XHMS系列

多腔室濺射設(shè)備....
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ALD設(shè)備
機(jī)型：

ALD設(shè)備....
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鈣鈦礦設(shè)備
機(jī)型：XHV系列

鈣鈦礦真空鍍膜設(shè)備是鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備中的關(guān)鍵設(shè)備之一。通過(guò)鍍膜技術(shù)，可以制備出高質(zhì)量的鈣鈦礦層、電子傳輸層、空穴傳輸層等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。除了鈣鈦礦太陽(yáng)能電池外，真空鍍膜設(shè)備還廣泛應(yīng)用于OLED和OPV等其他類型的太陽(yáng)能電池制備中，為這些新興的光伏技術(shù)提供高質(zhì)量的薄膜材料。
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第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備
機(jī)型：QDE系列

外延設(shè)單腔/多片（最大3×8Inch）+潔凈真空機(jī)械手搬運(yùn)， ?各盤獨(dú)立控溫，控溫精度高； ?水平層流布?xì)?分子泵排氣，控制氣體分布均勻； ?工藝進(jìn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，精準(zhǔn)控制參數(shù)；
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產(chǎn)品與技術(shù)